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電子氣體（電子氣體）

* 來源: * 作者: * 發(fā)表時(shí)間: 2020-08-28 1:25:24 * 瀏覽: 177
物理和化學(xué)性質(zhì)：電子氣體（Electronicgases）：氣體工業(yè)術(shù)語，半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱為電子氣體。按其類別可分為三類：純氣體，高純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。電子氣體是特種氣體的重要分支。根據(jù)純度等級(jí)和使用場(chǎng)合，電子氣可以分為電子級(jí)，LSI（大型集成電路）級(jí)，VLSI（超大規(guī)模集成電路）級(jí)和ULSI（超大規(guī)模集成電路）級(jí)。
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