工業(yè)氫氣的提純方法和工藝應(yīng)根據(jù)所用工業(yè)氫氣中雜質(zhì)的種類和含量以及生產(chǎn)要求的具體條件確定。同時，應(yīng)確定凈化劑及其用量，以及凈化設(shè)備的大小和數(shù)量。在安裝凈化系統(tǒng)時，必須首先考慮凈化器的順序。由于氫純度要求不同，因此在安裝過程中系統(tǒng)必須具有以下要求：1.所用的凈化器必須具有高純度，并且必須同時凈化。效果好，不與氫反應(yīng)，不消耗氫，處理量大，提純速度快，可連續(xù)使用，活化活化方便。 2.凈化劑的安裝應(yīng)根據(jù)凈化劑的凈化能力（從強到弱）以及各種凈化劑的特性和要求來確定。通常，脫氧后應(yīng)除去水。 3.凈化器通常需要兩套設(shè)備，一套用于再生，另一套用于待機。 4.凈化設(shè)備應(yīng)簡單，管線應(yīng)盡可能短，管線的側(cè)面必須密封，凈化設(shè)備和管線不得與凈化劑反應(yīng)。在氫氣提純過程中有很多種獲得氫氣的方法，并且來源非常豐富。提純后，可以將來自各種來源的氫氣用作高純度金屬熔煉（例如通過還原SiCL4或SiHCl3來生產(chǎn)多晶硅和硅外延）。通常將其視為電解氫。純度高，易于純化。常用的純化方法有兩種，一種是催化脫氧和吸附干燥法，另一種是鈀合金擴散法。鈀合金擴散法是國內(nèi)外比較先進(jìn)的提純氫的方法。但是，鈀合金膜的設(shè)備和材料稀缺，使用鈀合金膜時，氫氣仍需要預(yù)先純化。因此，該方法的應(yīng)用不是很廣泛。催化脫氧吸附干燥法是相對經(jīng)濟的并且是被廣泛使用的方法。方法。 1.催化脫氧吸附干燥法的工藝流程電解氫rrar，回火rrar，除油器rrar，鎳鉻接觸劑rrar，水冷卻器rrr，冷凍冷卻器rrar（兩套）rrar，粗氫uarr，rrr，Ni-Cr接觸劑rr，水冷rrar，硅膠rrar，硅膠rrar，分子篩rrar，分子篩rrar，粗過濾rrar，精細(xì)過濾rrar，純氫2。回火裝置和Ni-Cr接觸劑的作用氫氣和其他氣體燃燒時，通過回火的氣體可以起到緩沖和散熱的作用，因為回火中包含一些散熱材料（例如銅屑和活性銅等材料）以隔離熱量。 Ni-Cr接觸劑通常安裝在凈化器的前面。當(dāng)氫中的氧通過Ni-Cr接觸劑時，氧被轉(zhuǎn)化為水，達(dá)到脫氧的目的。反應(yīng)如下：2H2 + O2rarr，（Ni-Cr催化劑80?100℃）2H2O最理想的氫氣純化工藝是去除氫氣中的所有雜質(zhì)。實際上，很難完全沒有雜質(zhì)。目前使用的鈀合金的擴散法是一種更先進(jìn)的方法。鈀合金擴散法的原理鈀膜凈化器將氫傳遞到鈀合金擴散室中。在300-500小時時，氫吸附在鈀壁上，并且在鈀（H2mdash，mdash，2H +）的催化下，氫被離子化成質(zhì)子，因為鈀的晶格常數(shù)為3.88A0（20°C），并且氫的質(zhì)子半徑為1.5倍，為10-5A0，它們通過鈀表面進(jìn)入膠囊并逸出，并重組分子。雜質(zhì)（例如N2，CO2和其他雜質(zhì)）既不會溶解也不會被離子化，而是以分子狀態(tài)保留在鈀合金的另一側(cè)，從而從所有氣體雜質(zhì)中分離出氫氣。氫氣提純的主要原理是se鈀對氫氣的有效選擇和滲透性以凈化氫氣。