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摻雜氣體

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2020-03-23 1:39:42 * 瀏覽: 181
摻雜劑氣體:在半導體器件和集成電路的制造中,某些雜質或某些雜質被摻雜到半導體材料中,從而使該材料具有所需的導電類型和一定的電阻率。它用于制作PN結,電阻,掩埋層等。摻雜過程中使用的氣體摻雜源稱為摻雜氣體。它主要包括砷,膦,三氟化磷,五氟化磷,三氟化砷,五氟化砷,三氯化硼和乙硼烷。通常,摻雜源和載氣(例如氬氣和氮氣)在源機柜中混合。混合后,氣流連續流入擴散爐并包圍晶片。化合物摻雜物沉積在晶片表面上,與硅反應生成摻雜金屬遷移到硅中。
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