高純氣體氖的分析標(biāo)準(zhǔn)及分析儀器

* 來(lái)源: * 作者: * 發(fā)表時(shí)間: 2020-11-02 1:12:15 * 瀏覽: 137

隨著現(xiàn)代微電子工業(yè)的不斷發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)高純度氣體氖的純度要求越來(lái)越高，達(dá)到了99.99％。目前，國(guó)內(nèi)氖氣標(biāo)準(zhǔn)僅為GB / T“ 17873-1999”“純氖氣”，最高氖氣純度為99.995％。但是，世界上沒(méi)有高純度霓虹燈的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，但是一些大型的外國(guó)公司，例如美國(guó)的API和德國(guó)的Messer，都有自己的技術(shù)指標(biāo)。在工業(yè)上，液體氖冷凝法用于分離高純度氖氣，但是由于氖氣和氦氣的沸點(diǎn)非常接近，它們分別為-245.9和-268.9°C。氖氣的沸點(diǎn)低于氮?dú)獾姆悬c(diǎn)，因此產(chǎn)生的氖氣將含有微量的氦。由于兩者的物理和化學(xué)性質(zhì)相似，因此在工業(yè)生產(chǎn)中已檢測(cè)到高純氣體氖氣中痕量氦的分析。困難。針對(duì)這些問(wèn)題，需要探索一種新的檢測(cè)方法來(lái)確定氖氣中的痕量氦[2-7]。在本研究中，使用氖氣作為氣體，并使用一系列標(biāo)準(zhǔn)氣體作為樣品繪制回歸曲線，直線的截距值為載氣中的氦氣量。高純氣體氖實(shí)驗(yàn)儀器和樣品參考物質(zhì)實(shí)驗(yàn)選擇了GC-122氣相色譜儀，上海儀器分析總廠，熱導(dǎo)檢測(cè)器（TCD），色譜工作站，N2000，浙江大學(xué)智能信息工程學(xué)院。色譜柱使用直徑為3mm，長(zhǎng)度為3m的5A分子篩和六通進(jìn)樣閥。 Shimadzu的GC-14B和GC-14C氣相色譜儀，N3000色譜工作站。氣體分離的原理是：由于性質(zhì)不同，氣態(tài)物質(zhì)分子在色譜柱分子篩上的吸附-脫附能力也不同。隨著在色譜柱上的連續(xù)操作，柱中氣態(tài)分子的移動(dòng)距離逐漸變化。最終彼此分離，通過(guò)TCD檢測(cè)器檢測(cè)不同氣體的保留時(shí)間和峰面積。

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